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      CVD Chemical Vapor Deposition CVD真空氣相鍍膜
      CVD真空氣相沉積設(shè)備
      側(cè)式真空氣相鍍膜設(shè)備

      LPMS CVD12

      側(cè)式真空氣相鍍膜設(shè)備

      • 不銹鋼真空反應(yīng)罐,結(jié)構(gòu)合理,堅(jiān)固耐用;真空管路采用不銹鋼連節(jié),方便維護(hù)及保養(yǎng)。

      • 1.2米大直徑真空反應(yīng)罐,單次鍍膜數(shù)量多, 能滿足大型工件的鍍膜需求。

      • 側(cè)開式門設(shè)計(jì)便于取放產(chǎn)品與腔體清潔等維護(hù)作業(yè)。

      • 反應(yīng)罐內(nèi)置轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)使產(chǎn)品在鍍膜過程中轉(zhuǎn)動(dòng),鍍層更均勻。

      • 使用數(shù)位LED真空計(jì)顯示工作真空度。

      • 操作簡易,可依實(shí)際需求變換自動(dòng) /手動(dòng)操作模式。

      • 紅外線加熱圈,加溫速度快。

      • 采用高精度溫控裝置多段控溫,溫控精確。

      • 定時(shí)加熱、超溫報(bào)警和自動(dòng)停止加熱等保護(hù)功能

      • 自診功能和各種故障報(bào)警。

      運(yùn)用范圍

             真空氣相沉積設(shè)備是一種用于電子產(chǎn)品防水保護(hù)的鍍膜設(shè)備。工作時(shí)把含有構(gòu)成薄膜元素的化合物(長鏈性高分子材料,一般為派瑞林Parylene)、單質(zhì)氣體經(jīng)過升華、熱解后進(jìn)入放置產(chǎn)品的真空反應(yīng)室,借助空間氣相化學(xué)反應(yīng), 在產(chǎn)品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻,無應(yīng)力、優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性、防潮、防霉、防腐、防鹽霧的薄膜涂層。 

             廣泛應(yīng)用于:航空航天、電路板、LED 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫(yī)療器械、珍貴文物等領(lǐng)域產(chǎn)品的防水封裝與保護(hù)工藝中。



      產(chǎn)品規(guī)格

      設(shè)備總尺寸 ( 寬度 , 深度 , 高度 ) / 重量

      3000 mm x 1420 mm x 1620mm

      反應(yīng)罐體外徑

      ?1210 mm x1240 mm

      反應(yīng)罐罐口尺寸

      890 mm x1200 mm

      輸入電壓

      三相 380 VAC / 50 Hz

      設(shè)備最大功率

      15 Kw

      溫控分區(qū)

      6

      分解爐溫控范圍

      室溫至700℃

      升華爐溫控范圍

      室溫到150℃

      原料門溫控范圍

      室溫到250℃

      制冷壓縮機(jī)功率

      1000 W

      制冷量

      887 W

      最低制冷溫度

      -90℃

      真空泵型號

      2RH 090C

      真空泵抽氣速率

      90 m3

      最大真空壓力

      ≤ 5 Pa

      真空泵電機(jī)功率

      3.7 KW (三相380VAC)

      真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)速

      1440 R/Min

      控制系統(tǒng)

      10 ”人機(jī)界面,PLC 控制


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